Aufsatz(elektronisch)#12002Kostengünstige Produktion von MikrosystemenIn: Werkstattstechnik: wt, Band 92, Heft 11-12, S. 632-638Bader, U.; Höhn, M.; Burger, V.; Hügler, K.; Müller, T.; Bihr, J.; Suntrup, M.Bader, U.; Höhn, M.; Burger, V.; Hügler, K.; Müller, T.; Bihr, J.; Suntrup, M.ISSN: 1436-4980Bestellen über Zugriff(via Standort)Bestellen über Subito