Aufsatz(elektronisch)#1Atomic Layer Deposition of Manganese Nitride Thin Film from Manganese Amidinate and Ammonia PlasmaIn: APSUSC-D-21-16290Chen, Sen; Ren, Jiaxuan; Yang, Douhao; Sang, Lijun; Chen, Qiang; Liu, ZhongweiChen, Sen; Ren, Jiaxuan; Yang, Douhao; Sang, Lijun; Chen, Qiang; Liu, ZhongweiBestellen über Zugriff(Open Access)Bestellen über Subito