Исследование диффузии и электрофизических свойств эрбия, тулия, самария и иттербия в кремнии

In: «Узбекский физический журнал», Band 22, Heft 4, S. 237-242

Abstract

Исследования диффузии, растворимости и электрофизических свойств редкоземельных элементов эрбия, тулия, самария и иттербия в кремнии проведены в различных средах отжига для широкого интервала температур (1100-1250°С) комплексными методами меченых атомов, авторадиографии, измерения электропроводности и эффекта Холла, изотермической релаксации емкости и тока,. Установлены диффузионные параметры, растворимость и выявлена мелкая акцепторная природа на поверхности и в объеме кремния и-типа исследованных примесей редкоземельных элементов в кремнии. Вид распределения Er, Tm, Sm и Yb в кремнии представляет собой резко спадающую кривую, удовлетворительно аппроксимируемую er/c-функцией, соответствующей решению уравнения Фика для диффузии из постоянного источника в полуограниченное тело. Предполагается, что примеси РЗЭ Er, Tm, Sm и Yb (элементы третьей группы периодической системы), исследованные нами, являются примесями замещения и диффундируют по узлам кристаллической решетки (вакансионный механизм диффузии) кремния.